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晶圆的制备④硅片研磨加工丨半导体行业

晶圆产品翘曲度、平坦度、厚度均匀性都是衡量硅片质量的重要参数。切片制程會造成硅片表面损伤，因此硅片表面要进行研磨机械加工，以移除上述损伤层。磨片工艺的目的包括以下两点。 ① 去除硅片表面的刀疤，使硅片表面加工损伤均匀一致。 ② 调节硅片厚度，使片与片之间厚度差逐渐缩小，并提高表面平整度和平行度。磨片的效果与研磨料、研磨条件、研磨

应用领域

应用范围：砂石料场、矿山开采、煤矿开采、混凝土搅拌站、干粉砂浆、电厂脱硫、石英砂等
物料：河卵石、花岗岩、玄武岩、铁矿石、石灰石、石英石、辉绿岩、铁矿、金矿、铜矿等